SEM/EDX-芯片失效分析-展芯

芯片失效分析 →

SEM及EDX

SEM 扫描电镜 / EDX能量弥散X光仪应用
* 材料结构分析/缺陷观察	* 元素组成常规微区分析	* 精确测量元器件尺寸